- reaktives Ionenätzen mit hohem Aspektverhältnis
- Ionenätzen n mit hohem Aspektverhältnis: reaktives Ionenätzen n mit hohem Aspektverhältnis deep reactive ion etching, DRIE
Deutsch-Englisch Wörterbuch der Elektrotechnik und Elektronik. 2013.
Deutsch-Englisch Wörterbuch der Elektrotechnik und Elektronik. 2013.