reaktives Ionenätzen mit hohem Aspektverhältnis

reaktives Ionenätzen mit hohem Aspektverhältnis
Ionenätzen n mit hohem Aspektverhältnis: reaktives Ionenätzen n mit hohem Aspektverhältnis deep reactive ion etching, DRIE

Deutsch-Englisch Wörterbuch der Elektrotechnik und Elektronik. 2013.

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